论文>通信/电子论文>深海环境下MEMS电导池形变特性有限元件分析

深海环境下MEMS电导池形变特性有限元件分析

  
编号:99-583859 | doc 格式 | 816.50K | 35 页
深海环境下MEMS电导池形变特性有限元件分析

1.55万字 35页 原创作品,通过查重系统


摘 要
MEMS的?#24418;?#21517;称是微机电系统,它的发展壮大是依?#24615;?#24494;电子技术基础上,成为多学科相互涉及的科学前沿技术。与传统机?#23548;?#24037;方法制造的传感器相比,MEMS传感器具有体积小、重量轻、功耗低、加工精度高、可大批量生产、成本低、?#23376;?#38598;成等优点,随着现如今人们对海洋观测的需求不?#31995;?#22686;加和海洋观测的技术不断向前发展,MEMS技术正在逐步进入海洋观测技术的研究领域。电导率传感器是最常用的海洋观测器件之一,而电导池是电导率传感器的主要组成部分,当采用MEMS加工工艺制作的电导池处在深海环境中时,受到海水压力的影响,电导池会产生形变,从而影响海水电导率的测量和传感器的性能。本文以MEMS电导池为研究对象,采用有限元软件仿真的手段,对深海环境下MEMS电导池的形变特性进行理论模拟,并对模拟结果进行适当的分析研究,研究的结果可以用于指导深海环境中MEMS电导率传感器性能的提升。


关键词:深海环境下;MEMS电导池;形变特性;有限元件分析;ANSYS
  
关于我们 联系我们 帮助中心 支付方式  侵权处理 免责声明 友情链接 网站地图
  蜀ICP备11006018-1
韩国快乐8开奖
南粤风采36选7走势图大赢家 四川金7乐遗漏数据 手机欢乐斗地主下载 久久福彩3d心水论坛 体彩七位数第14007期中奖号码 2元彩票注册送4元 5oo万彩票网开奖结果 好几次错过500万大奖 福建快3开奖号码昨天 双色球历史133开奖 快彩乐老11选5走势图 体彩网排列五走势图 内蒙古快3360 体彩青海十一选五开奖结果 五子棋游戏开发