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深海环境下MEMS电导池形变特性有限元件分析

  
编号:99-583859 | doc 格式 | 816.50K | 35 页
深海环境下MEMS电导池形变特性有限元件分析

1.55万字 35页 原创作品£¬通过查重系统


摘 要
MEMS的?#24418;?#21517;称是微机电系统£¬它的发展壮大是依?#24615;?#24494;电子技术基础上£¬成为多学科相互涉及的科学前沿技术¡£与传统机?#23548;?#24037;方法制造的传感器相比£¬MEMS传感器具有体积小¡¢重量轻¡¢功耗低¡¢加工精度高¡¢可大批量生产¡¢成本低¡¢?#23376;?#38598;成等优点£¬随着现如今人们对海洋观测的需求不?#31995;?#22686;加和海洋观测的技术不断向前发展£¬MEMS技术正在逐步进入海洋观测技术的研究领域¡£电导率传感器是最常用的海洋观测器件之一£¬而电导池是电导率传感器的主要组成部分£¬当采用MEMS加工工艺制作的电导池处在深海环境中时£¬受到海水压力的影响£¬电导池会产生形变£¬从而影响海水电导率的测量和传感器的性能¡£本文以MEMS电导池为研究对象£¬采用有限元软件仿真的手段£¬对深海环境下MEMS电导池的形变特性进行理论模拟£¬并对模拟结果进行适当的分析研究£¬研究的结果可以用于指导深海环境中MEMS电导率传感器性能的提升¡£


关键词£º深海环境下£»MEMS电导池£»形变特性£»有限元件分析£»ANSYS
  
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